第1期
TiB2 - BN - AlN复相导电陶瓷蒸发舟性能影响因素研究进展
作者:史晓伟1)白佳海1), 王 前2),杜庆洋1),张 雍2),魏春城1)
作者机构:1)山东理工大学 材料科学与工程学院山东淄博 255049 2)山东鹏程陶瓷新材料科技有限公司山东淄博 255000
分类号:
卷号:
期号 : 2020 年, 第1期
页码:77 - 81
关键词: TiB2 - BN - AlN复相陶瓷;蒸发舟;导电陶瓷;致密度;导电性;抗弯强度
内容简介

TiB2 - BN - AlN(简称TBA)复相陶瓷保持了TiB2、BN、AlN的优良性能,具备优异的化学稳定性、力学性能以及一定的导电性,主要用作真空镀铝的蒸发容器和耐腐蚀电极等。因此,概述了TBA复相陶瓷作为导电陶瓷蒸发舟的一些研究进展,重点分析了影响其致密度、导电性、力学性能(抗弯强度)和使用寿命的工艺因素;同时讨论了TBA复相陶瓷蒸发舟仍存在的问题,并对其未来发展趋势进行了展望。

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