化学气相沉积炉

化学气相沉积炉基本信息

C/C复合材料是一种炭纤维增强炭基体的先进复合材料，具有低密度、高比强、耐高温(3000℃)、 摩擦磨损性能优异等特点。早期，通过试验方法研制出的 C/C复合材料产品主要用于航空航天领域，如军用飞机制动盘、火箭发动机喷管、燃烧室、鼻锥等关键部件。目前，C/C复合材料因其优异的性能，广泛应用于现代交通、大型制造业、国家大型核能工程、现代国防建设、高温热防护、半导体工业、热压模具等领域。
C/C复合材料制备的关键技术是炭纤维预制体的致密化-CVI工艺。C/C复合材料化学气相沉积炉是CVI工艺的专用设备，是在一定的真空或惰性气氛条件下，利用电阻发热的原理将炉内工件加热到一定温度后，通入碳源性气体，气体在高温下裂解后产生含碳物质，沉积于工件表面，达到组织增密的目的。
鉴于C/C复合材料广泛的应用领域和广阔的市场前景，我公司研制出了目前国内最大的C/C复合材料化学气相沉积炉（Φ2800x3600mm），主要用于大型C/C制品的化学气相沉积，也可进行全程真空炭化处理。

1）炉底混合性碳源性气体进气及气体分配系统；
2）炉胆内外真空度微压差控制系统；
3）防旋转水冷电极结构；
4）新型过滤装置；

代表业绩

业主：西安超码科技有限公司

项目类型：EP总成套
项目产能：1300吨/年
项目状态：2013年投产
技术性能：3台Φ2800×H 3600mm沉积炉，12台Φ1800×H3400mm的沉积炉。 最大装载量：6.5 t，额定温度：1060℃，均温区温差： ≤15℃，连续工作时间：≥300h，最大升温速率：100℃/h，压升率：≤0.002MPa/4h，冷态极限真空度：≤－0.1MPa。工作气氛：天然气、丙烯、及相应反应产物、氮气、炭毡挥发物。