原文标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

英文标准名称：Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry

中文主题词：碳化硅,二次离子质谱法

英文主题词：

标准号：GB/T 41153-2021

标准状态：现行

国别：中国

发布日期：2021-12-31

实施或试行日期：2022-07-01

发布单位：国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

起草单位：

标准类型：方法

标准水平：国内先进

中国标准分类号：H17

国际标准分类号：77.040

页数：0

正文语种：中文

内容简介