借助发泡法将气孔引入Si多孔坯体，使坯体的体积分别增加0、1、2、3倍，通过原位氮化工艺制备了氮化硅纤维材料，重点研究了发泡体积倍数对氮化硅纤维材料显微结构和性能的影响。结果表明：1）发泡法引入气孔后，坯体中存在发泡孔、孔壁窗口、孔壁微孔三种孔结构。提高发泡倍数，试样中气孔率升高，孔壁窗口数量增多，N₂易流通，有利于氮化反应的进行。2）氮化硅纤维只能生长在材料的孔缝部位，引入的气孔为氮化硅纤维提供了足够大的生长空间，反应后试样孔中长满了絮状的氮化硅纤维。随发泡体积倍数增加，试样孔壁中生成的氮化硅由粒状转变为纤维状，形成了氮化硅纤维交织孔壁结构。3）发泡法引入气孔后，材料的强度由孔壁提供。随发泡倍数增加，试样的气孔率升高，单位面积内孔壁的有效截面减小，导致材料的强度降低。