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氮化硅粉体制备方法研究进展
作者:刘 萍, 徐恩霞, 谢宏旭, 曹雨后
作者机构:中钢洛耐科技股份有限公司 河南洛阳 471039
分类号:TQ174.75
卷号:54
期号 : 2020 年, 第5期
页码:457 - 460
关键词: 氮化硅;粉体;制备方法;研究现状
内容简介
综述了氮化硅粉体的制备方法和国内外研究现状,并对目前大规模采用的硅粉直接氮化法和碳热还原二氧化硅法存在的问题进行了分析。
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