碳化硅陶瓷材料可以采取反应烧结法、液相烧结法和热压法制备。热压法制备碳化硅制品可以达到较高的性能指标，但是能耗较高，且制备复杂形状制品的可行性较低。因而，就工作量和最终的机械性能而言，采用氧化物活性添加剂的液相烧结法是最佳的方法。俄罗斯的研究人员研究了用液相烧结添加氧化铝、氧化钇和氧化镁等高分散性活性剂的方法制备碳化硅质致密陶瓷材料的方法。

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