第4期
Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中析晶的影响
作者:刘金秋,彭立华,秦善
作者机构:北京大学 地球与空间科学学院北京 100871
分类号:
卷号:
期号 : 2016 年, 第4期
页码:248 - 252
关键词: 熔融石英坩埚;氮化硅;结晶度;α-方石英
内容简介

 

为了研究Si3N4添加量对熔融石英坩埚在铸锭过程中结晶化的影响,首先在熔融石英浆料中添加不同量(质量分数为0、0.01%、0.05%和0.1%)的氮化硅粉,经注浆成型、140 ℃保温10 h干燥和1 150 ℃保温6 h烧后制备了熔融石英坩埚,然后在铸锭炉中进行最高温度为1 540 ℃,历时约52 h的多晶硅铸锭过程,最后用透射反射偏光显微镜观察铸锭后坩埚的显微结构,用X射线衍射仪分析铸锭后坩埚的物相组成,并计算其结晶度和晶粒尺寸。结果表明:随着Si3N4添加量的增加,铸锭后熔融石英坩埚中结晶相α-方石英的含量逐渐降低,晶粒尺寸逐渐减小。

 

 

所需耐材币:3
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