原文标准名称：半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚

英文标准名称：

中文主题词：高纯石英坩埚

英文主题词：

标准号：T/ICMTIA CM0038—2024

标准状态：现行

国别：中国

发布日期：2024-04-25

实施或试行日期：2024-06-01

发布单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草单位：浙江美晶新材料股份有限公司、宁夏鑫晶新材料科技有限公司、郑州合晶硅材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、中环领先半导体材料有限公司

标准类型：产品

标准水平：国内先进

中国标准分类号：

国际标准分类号：29.045

页数：0

正文语种：中文

内容简介

本文件规定了半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存技术内容。 本文件适用于半导体硅单晶生产用高纯石英坩埚。