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碳化硅粉体合成技术研究进展

作者:戴培赟,李晓丽,王泌宝,傅晓庆

作者单位:潍坊工商职业学院

会议录名称:2013耐火材料综合学术会议(第十二届全国不定形耐火材料学术会议和2013耐火原料学术交流会)

出版年:2013-09-25

起页:62-65

止页:

总页数:4

馆藏号:

分类号:TB383.3

语种:中文

会议名称:2013耐火材料综合学术会议(第十二届全国不定形耐火材料学术会议和2013耐火原料学术交流会)

会议地点:中国河南洛阳

会议时间:2013-09-25

会议主办者:中国金属学会

关键词:碳化硅;粉体合成;碳热还原法;溶胶-凝胶法;

内容简介

高纯超细的碳化硅粉体是制备高性能碳化硅器件的重要前提。目前工业生产中普遍采用的碳化硅粉体合成方法是碳热还原法。随着胶体化学、大功率激光器和热等离子体技术的不断发展,出现了很多新的制备工艺,如溶胶-凝胶法、激光诱导化学气相沉积法和等离子体法等。本文重点总结了近年来碳化硅粉体合成工艺的最新进展,并讨论了存在的主要问题和今后的发展方向。

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