作者：李景1黄佳2李国鹏3孙红军1

作者单位：1. 中国标准化研究院2. 中国计量大学3. 中国科学院科技战略咨询研究院

刊名：标准科学

ISSN：1674-5698

出版年：2024-01-16

卷：

期：1

起页：101-113

止页：

分类号：TQ163.4

语种：中文

关键词：碳化硅;标准;标准比对;中国国家标准(GB);

内容简介

为了探明碳化硅国内外标准的情况和差异，本文调研、分析并选择了中国国家标准和行业标准、国际标准及美国、欧洲、日本、俄罗斯、罗马尼亚相关标准，选择碳化硅物理特性、碳化硅磨料化学分析方法、含碳化硅耐火材料化学分析方法、碳化硅晶片产品规格进行标准比对。通过比对，得出结论：（1）国外有关碳化硅标准，都制定了碳化硅产品的理化性能标准，有些指标我国国家标准和部分企业实际质量控制中未列入检测控制指标，如：振实密度、比表面积、清洁度、韧性、电导率；（2）针对碳化硅粒度砂与微粉产品，发达国家根据其用途不同，按照对口专用、精密化、综合利用原则，分成了多种牌号专用产品，专用产品的企业标准指标要求也不同，使生产者和使用者找到了最佳结合点，产品产生了最大效益；（3）从碳化硅磨料的化学分析方法标准比对和含碳化硅耐火材料化学分析方法标准比对结果看，我国国家标准的比对指标相较于美国、欧盟及日本等发达国家及地区而言较为完整；（4）从碳化硅晶片产品相关标准比对结果看，我国国家标准对碳化硅单晶抛光片以及晶片检测方面制定了相关标准，而美国、欧盟、日本等发达国家及地区没有涉及。针对碳化硅外延片表面缺陷的测试环境，我国国家标准相较于欧盟以及日本标准要求更高。