作者：Keiji NAGAMORI;Hisao NAGASHIO;

作者单位：

刊名：品川技報

ISSN：0288-5395

出版年：1997-01-05

卷：0

期：40

起页：79

止页：82

分类号：TQ175

语种：英文

关键词：

内容简介

We have developed large-sized ceramic parts for semiconductor and LCD equipment to achieve enlargement and higher precision.Below are the research results.